Պոլիսիլիցիումի պատրաստման եղանակ.

1. Բեռնում

Ջերմափոխանակման սեղանի վրա դրեք ծածկված քվարցի կարասը, ավելացրեք սիլիցիումի հումք, ապա տեղադրեք ջեռուցման սարքավորում, մեկուսիչ սարքավորում և վառարանի կափարիչը, տարհանեք վառարանը՝ վառարանում ճնշումը մինչև 0,05-0,1 մբար նվազեցնելու և վակուումը պահպանելու համար: Ներդրեք արգոնը որպես պաշտպանիչ գազ՝ վառարանում ճնշումը հիմնականում մոտ 400-600 մբար պահելու համար:

2. Ջեռուցում

Վառարանի մարմինը տաքացնելու համար օգտագործեք գրաֆիտային ջեռուցիչ, նախ գոլորշիացրեք գրաֆիտի մասերի, մեկուսացման շերտի, սիլիցիումի հումքի և այլնի մակերեսի վրա ներծծված խոնավությունը, այնուհետև դանդաղ տաքացրեք, որպեսզի քվարցային խառնարանի ջերմաստիճանը հասնի մոտ 1200-1300:℃. Այս գործընթացը տևում է 4-5 ժամ:

3. Հալվելը

Ներդրեք արգոնը որպես պաշտպանիչ գազ՝ վառարանում ճնշումը հիմնականում մոտ 400-600 մբար պահելու համար: Աստիճանաբար ավելացրեք ջեռուցման հզորությունը՝ խառնարանում ջերմաստիճանը մոտ 1500-ի հարմարեցնելու համար℃, և սիլիցիումի հումքը սկսում է հալվել։ Պահպանեք մոտ 1500℃հալման գործընթացում մինչև հալման ավարտը: Այս գործընթացը տևում է մոտ 20-22 ժամ:

4. Բյուրեղների աճ

Սիլիցիումի հումքը հալվելուց հետո ջեռուցման հզորությունը կրճատվում է, որպեսզի խառնարանի ջերմաստիճանը իջնի մոտ 1420-1440:℃, որը սիլիցիումի հալման կետն է։ Այնուհետև քվարցային խառնարանը աստիճանաբար շարժվում է դեպի ներքև, կամ մեկուսիչ սարքը աստիճանաբար բարձրանում է, այնպես որ քվարցային խառնարանը դանդաղորեն դուրս է գալիս ջեռուցման գոտուց և ձևավորում ջերմափոխանակություն շրջակա միջավայրի հետ. միևնույն ժամանակ հովացման ափսեի միջով ջուր է անցնում՝ հալոցի ջերմաստիճանը ներքևից նվազեցնելու համար, իսկ ներքևում սկզբում ձևավորվում է բյուրեղային սիլիցիում։ Աճման գործընթացում պինդ-հեղուկ միջերեսը միշտ մնում է հորիզոնական հարթությանը զուգահեռ, մինչև բյուրեղների աճը ավարտվի: Այս գործընթացը տևում է մոտ 20-22 ժամ:

5. Հալեցում

Բյուրեղների աճի ավարտից հետո բյուրեղի ներքևի և վերևի միջև ջերմաստիճանի մեծ գրադիենտի պատճառով ձուլակտորում կարող է առաջանալ ջերմային սթրես, որը հեշտ է նորից կոտրվել սիլիկոնային վաֆլի տաքացման և մարտկոցի պատրաստման ժամանակ: . Ուստի բյուրեղների աճի ավարտից հետո սիլիցիումի ձուլակտորը պահվում է հալման կետի մոտ 2-4 ժամ՝ սիլիցիումի ձուլակտորի ջերմաստիճանը միատեսակ դարձնելու և ջերմային սթրեսը նվազեցնելու համար։

6. Սառեցում

Վառարանում սիլիցիումի ձուլակտորը հալվելուց հետո անջատեք ջեռուցման հզորությունը, բարձրացրեք ջերմամեկուսիչ սարքը կամ ամբողջությամբ իջեցրեք սիլիցիումի ձուլակտորը և արգոն գազի մեծ հոսք մտցրեք վառարան՝ աստիճանաբար նվազեցնելու համար սիլիցիումի ձուլակտորը մոտ: սենյակային ջերմաստիճան; միևնույն ժամանակ վառարանում գազի ճնշումը աստիճանաբար բարձրանում է մինչև այն հասնի մթնոլորտային ճնշման: Այս գործընթացը տևում է մոտ 10 ժամ: